1913年，北洋政府教育部召開(kāi)“讀音統(tǒng)一會(huì)”，期間備有“記音字母”，凡三十八，聲母二十四，韻母十四，臨時(shí)用于審定“國(guó)音”，當(dāng)時(shí)，以刂為ㄉ，丨為ㄍ，彡為ㄙ，為ㄟ，厶為ㄥ，并未立ㄦ。后將之正式通過(guò)，但由于種種原因，沒(méi)有公布。

1918年，北洋政府教育部正式發(fā)布“注音字母”，此字母為改良舊日反切而作，用以標(biāo)注漢字讀音，故曰“注音字母”。凡三十九，聲母二十四，韻母十五（新增韻母ㄦ；“一”豎寫作“一”，橫寫作“ㄧ”，以區(qū)別破折號(hào)“——”），其中，有十六個(gè)參考了章炳麟的“紐文韻文：

“ㄌ”、“ㄋ”、“ㄇ”、“ㄈ”、“ㄗ”、“ㄘ”、“ㄙ”、“ㄕ”、“ㄏ”、“ㄧ”、“ㄩ”、“ㄛ”、“ㄟ”、“ㄠ”、“ㄢ”、“ㄥ”

再另取部分漢字得出其余二十三個(gè)字母，并造一字母“ㄦ”。

1919年，印行《國(guó)音字典》（老國(guó)音），注音字母為標(biāo)注國(guó)音之用，亦可名曰“國(guó)音字母”，又依音理改訂字母次序：

ㄅㄆㄇㄈ?、ㄉㄊㄋㄌ、ㄍㄎ?ㄏ、ㄐㄑ?ㄒ、ㄓㄔㄕㄖ、ㄗㄘㄙ、ㄧㄨㄩ、ㄚㄛㄝ、ㄞㄟㄠㄡ、ㄢㄣㄤㄥ，ㄦ。

1920年，特開(kāi)臨時(shí)大會(huì)，從“ㄛ”分出“ㄜ”，初時(shí)“ㄛ”兼表兩音，令人茫然，而“注音字母”業(yè)已頒定，不便再有增加，故于“ㄛ”上方正中加小圓點(diǎn)“·”，以示區(qū)別，后連寫成“ㄜ”，注質(zhì)、月、陌、職、緝諸（入聲韻）開(kāi)口呼之字，“ㄛ”則用于注歌、哿、箇、覺(jué)、曷、藥、合諸韻中字，又決議“ㄦ”兼做聲母，用于轉(zhuǎn)寫外文。

1930年，中央常務(wù)會(huì)議決議，注音字母改稱“注音符號(hào)”。