元沿設(shè)，員額很多，除內(nèi)臺三十二員，尚有江南行臺二十八員、陜西行臺二十員。

明廢御史臺設(shè)都察院，通掌彈劾及建言，設(shè)左右都御史、左右副都御史、左右僉都御史。又設(shè)十三道監(jiān)察御史110人，為正七品官，分區(qū)掌管監(jiān)察，稱為“巡按御史”。巡按御史被稱為“代天子巡狩”，大事奏裁，小事主斷，官位雖不高，但權(quán)勢頗重。

清同明制，乾隆時于都察院左都御史、在副都御史下設(shè)十五道掌印監(jiān)察御史及監(jiān)察御史，清末增至二十道。其職掌為“彈舉官邪，敷陳治道，審核刑名，糾察典禮”等事。

清朝，此官職配置于朝廷或地方，為制衡行政機構(gòu)主官的非常派朝廷或地方官員。監(jiān)察御史不僅可對違法官吏進行彈劾，也可由皇帝賦予直接審判行政官員之權(quán)利，并對府州縣道等審判衙門進行實質(zhì)監(jiān)督，也可在監(jiān)察過程中對地方行政所存在的弊端上奏。例如1722年－1769年設(shè)置的巡視臺灣監(jiān)察御史，另外，該官職品等為從五品。

1910年代，清朝滅亡后，中華民國廢除該官職。

古代監(jiān)察制度

中國古代監(jiān)察制度起源甚早，中國古代的封建國家為監(jiān)督政府官員，為國家利益和皇帝利益而服務(wù)，維護既有的統(tǒng)治秩序，保證國家機器正常運轉(zhuǎn)而設(shè)立的一項專門的“準(zhǔn)司法”性質(zhì)的國家監(jiān)督制度。監(jiān)督法律、法令的實施，維護國家法律、法令和法制（當(dāng)然，這里是指封建法制）的統(tǒng)一，參與并監(jiān)督中央和地方司法（在古代，司法從屬于行政，因此，在古代，司法和行政是同義詞）機關(guān)對重大案件的審理活動，是中國古代監(jiān)察機構(gòu)及監(jiān)察官員的主要職責(zé)。